全球有四大光刻机厂商，分别是荷兰的ASML、日本的尼康和佳能、中国的上海微电子装备有限公司。ASML是光刻机领域的霸主，成立于1984年，它是唯一能生产EUV光刻机的厂商，台积电、三星等巨头的EUV设备完全依赖它。日本的尼康和佳能曾经也是行业巨头，尼康成立超100年，20世纪70年代起就引领光刻技术，但后来错过发展机会，被ASML超越。佳能在成熟制程、低端市场和封装设备领域是高性价比方案提供者，5nm制程已在实验室验证，2019 - 2023年出货量增速可观。上海微电子也在努力追赶，2025年预计有不错进展，不过整体和ASML相比仍有差距。
