国内光刻机TOP5企业1.上海微电子：国内唯一量产前道投影光刻机整机企业，90nm机型批量落地，28nm浸没式DUV持续验证，先进封装光刻机全球市占约37%，国产光刻产业总龙头。2.华卓精科：国内独家量产光刻机双工件台，定位精度达纳米级，为上微主力供货，突破海外垄断。3.科益虹源：193nm ArF准分子光源龙头，国产DUV光刻机核心光源供应商，补齐光源短板。4.茂莱光学：高端物镜镜片主力厂商，供货上微且切入ASML供应链，专攻光刻精密光学元件。5.芯碁微装：直写光刻龙头，聚焦封测、载板光刻设备，国内封装光刻市占超九成。
