俄白两国研制出130纳米光刻机样机，同时还研制出了国产准分子激光器

2026年9月28日，塔斯社电：俄罗斯第一副总理丹尼斯·曼图罗夫在“微电子”论坛全体会议上宣布，俄罗斯与白俄罗斯已研制出130纳米光刻机样机。

他表示：我们与白俄罗斯朋友合作，已经制造出130纳米光刻机样机，并且为其研制了国产准分子激光器，这使俄罗斯跻身掌握该技术的少数国家之列。

电子束光刻技术也在发展之中，该技术可用于制造光掩模。为生产光掩模，泽列诺格勒正在建设科学技术中心。据曼图罗夫介绍，该项目计划分阶段掌握直至28纳米制程的集成电路生产工艺。

“与此同时，在材料和化学产品领域的专业能力也在不断提升。过去三年间，已掌握约60种关键产品的生产，另有大约同等数量的产品预计将于2029年进入市场。”第一副总理补充道。