中微公司的创始人尹志尧博士表示,对国内的半导体设备产业充满信心,因为美国的设备工业都是华人干出来的,而这批华人大部分已经回国了。
美国在过去的三四十年里面开发的11种国际最先进的设备,包括刻蚀机,叫高能等离子体刻蚀机(CCP)、低能等离子体刻蚀机(ICP),还有在薄膜设备里面最重要的PECVD,就是等离子体加强的介质薄膜沉积,还有PVD,就是金属铜和其他金属靶材的沉积,就是物理溅射。再包括CMP(化学机械抛光)、电镀等两类设备。我们数下来大概11种最先进设备。
如果知道历史的话,几乎全部都是,或者说90%,都是中国留学生干出来的。或者是下面的经理,或者是分部的总经理,或者是事业群总经理,大概二三十个人。这些人从2004年我们回国以后开始,到现在几乎全部都回国了。
所以第一,我们应该看到美国的设备工业,华人起了最关键的作用,大部分的设备并不是美国人开发出来的。第二,这些人回国以后,使得中国的半导体设备行业最近20年发展非常快。
现在国内大概有不止三百多个半导体设备公司,有很多都是国外回来的人做领导,还有一部分国内的教授、研究所的人Spin-off出来,有一些年轻的人创业,非常热。我们已经覆盖了几乎百分之百的半导体设备,包括细分的设备,而美国最多做到百分之五六十。所以我对中国的设备产业充满信心。