投资或达8000亿元的芯片工厂来了马斯克拟建全球最大芯片工厂 开辟了芯片制造的新思路，美国版的芯片高端制造业，成的可能性还很大。

大家第一眼看Terafab芯片工厂是不是觉得奇怪？弄得像浦东机场似的呢。再看看台积电台南最先进的芯片制造厂，难道是马斯克要搞房地产开发了？

错了，马斯克要改变芯片制造工艺了，这项技术正是FEL 技术，马斯克自己在X上回复网友了。相比于传统的光刻机技术做个比方：

传统 ASML EUV 光刻方案：每一台光刻机都搭载独立的 LPP 锡滴光源，光束依靠多组高精度反射镜多次反射，将芯片图案投射到晶圆表面完成曝光。

特斯拉Terafab 的 FEL 自由电子激光路线：在厂区中心部署大型电子加速器，产生高亮度极紫外光束；光束通过长距离真空光路分配输送至两侧长条厂房，驱动多台仅保留光学扫描头的光刻工位，实现单套中央光源供给多套光刻设备。

简单来说，就是传统 EUV光刻机，每一台光刻机自带独立 “灯泡”，靠镜子来回反射光线照到硅片。FEL 方案是工厂中间造一台大型电子发光装置（自由电子激光加速器，不是粒子对撞机），通过真空光导管把光送到长长的厂房里，给沿线一堆光刻机头共用这一套主光源。

所以才有了两侧长条线型厂房：超长直条形厂房，中间布置 FEL 加速器，真空光路沿着长厂房直线输送光束，不用大量拐弯，光损耗最小；模块化，后期想扩产能，直接加长厂房、增加扫描机头即可。

马斯克还真是个天才，每次都是在改变既定的游戏规则。

按照这个新技术下，以后也不需要像传统芯片厂整个空间都需要超洁净；而是只把硅片接触到的狭小空间做到极致干净，可以预见的是一旦规模够大，成本将会降低很多。

这一次，马斯克能再次改变芯片领域吗？我们拭目以待。