ETF收盘涨跌不一，科创半导体设备ETF(589020)领涨7.55%，科创半导体设备ETF(588710)涨6.67%，科创半导体ETF(588170)涨6.67%，电力ETF(159611)领跌4.94%，电力ETF(561700)跌4.85%，电力ETF(562350)跌4.84%。